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科技牛结果推荐-超净高纯微电子化学品制备技术
2021-08-25 00:33
本文摘要:超净高纯微电子化学品制备技术●所属领域:化工、质料●项目先容:微电子化学品是电子技术微细加工制作历程中不行缺少的关键性基础化工质料之一,主要用于半导体制造历程,用以冲洗晶片及制作研磨剂、蚀刻剂和光刻胶去除剂等。本项目接纳吸附-离子交流-膜分散集成纯化制备了超净高纯电子化学品制备技术,乐成制备了超大规模集成电路用超净高纯过氧化氢等微电子化学品,产物性能到达超净高纯级过氧化氢(SEMI-C12,金属离子杂质低于0.1ppb)。

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超净高纯微电子化学品制备技术●所属领域:化工、质料●项目先容:微电子化学品是电子技术微细加工制作历程中不行缺少的关键性基础化工质料之一,主要用于半导体制造历程,用以冲洗晶片及制作研磨剂、蚀刻剂和光刻胶去除剂等。本项目接纳吸附-离子交流-膜分散集成纯化制备了超净高纯电子化学品制备技术,乐成制备了超大规模集成电路用超净高纯过氧化氢等微电子化学品,产物性能到达超净高纯级过氧化氢(SEMI-C12,金属离子杂质低于0.1ppb)。●创新点:接纳吸附-离子交流-膜分散集成纯化制备技术。

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●项目成熟度:工业化●应用前景:全国建有的15家33条超大规模集成电路生产线,对微电子化学品的需求量将到达7.2万t/a以上。●互助方式:技术许可、转让、入股●价钱:面议科技牛,一家为企业精准匹配科研专家,快速提供技术解决方案的产学研服务平台。

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